各有关单位：

根据国家标准化管理委员会、民政部印发的《团体标准管理规定》相关要求，以及《中国国际经济技术合作促进会团体标准管理办法》和《海南省节能减排协会团体标准管理办法》的有关规定，由中国国际经济技术合作促进会和海南省节能减排协会共同归口的《半导体单片式湿法刻蚀设备技术要求》等8项团体标准通过审查，现予以发布（详见附件）。特此公告。

附件：《半导体单片式湿法刻蚀设备技术要求》等8项团体标准发布名录

海南省节能减排协会

2026年05月27日

海南省节能减排协会关于《半导体单片式湿法刻蚀设备技术要求》等8项团体标准发布通知-琼节函〔2026〕003号